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4月20日，半导体设备ETF国泰基金（159516）最新份额为233.97亿份，较前一交易日减少了1.72亿份。当日资金净流入4192.55万元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为212.28亿元。该基金近一周净值上涨3.86%，近一个月净值上涨9.33%。
半导体设备ETF国泰基金成立于2023年7月19日，基金经理为艾小军，基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立以来超额回报为5.65%，近一个月超额回报为-0.09%。最新披露的基金持仓数据显示，截止2025年12月31日，该基金第一大重仓股为北方华创（002371），持股占比为14.47%。
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